微電子與集成電路PRODUCT CENTER
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微納電路退火系統(tǒng)RTP150
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微納電路退火機(jī)RTP100
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微納電路測(cè)量顯微鏡AFM90
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微納電路橢偏測(cè)量機(jī)ELL100
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微納電路反應(yīng)離子蝕系統(tǒng)RIE150
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微納電路反應(yīng)離子蝕機(jī)RIE100
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微納電路離子刻系統(tǒng)IBE150
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微納電路離子刻機(jī)IBE100
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微納電路化相淀積系統(tǒng)PECVD200
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微納電路化相淀積機(jī)PECVD150
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微納電路原子沉積機(jī)ALD150
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微納電路磁濺系統(tǒng)SPU150
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微納電路磁濺機(jī)SPU100
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微納電路蒸鍍系統(tǒng)TES150
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微納電路蒸鍍機(jī)TES100
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微納電路顯影機(jī)uDPM200
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微納電路激光成型機(jī)uLCM150
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高精度烘膠機(jī)GRM200
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智能烘膠機(jī)GRM150
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烘膠臺(tái)GRM100
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高精度勻膠機(jī)GLM200
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智能勻膠機(jī)GLM150
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勻膠臺(tái)GLM100
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氧化擴(kuò)散爐OXF200
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氧化擴(kuò)散爐OXF150
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- 集成電路測(cè)試